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全自動硅片甩干機(jī)廠家

更新時間:2024-07-03
瀏覽次數(shù):3046
產(chǎn)品型號:
產(chǎn)品地址:濟(jì)寧市
產(chǎn)品描述:全自動硅片甩干機(jī)廠家LCS系列立式旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)本機(jī)是主要應(yīng)用于太陽能電池和半導(dǎo)體硅片等的沖洗甩干工藝環(huán)節(jié),具有容量大、效率高的特點。
詳情介紹

全自動硅片甩干機(jī)是一種專門用于半導(dǎo)體制造過程中的高精密設(shè)備,主要用于清洗和干燥硅片。這種設(shè)備通過自動化的流程,能夠高效地去除硅片表面的水分和其他殘留物,確保硅片的清潔度和干燥度,從而滿足后續(xù)工藝的要求。

全自動硅片甩干機(jī)

 

主要特點:

彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控,可存儲多種工藝菜單

腔體和轉(zhuǎn)架采用316不銹鋼,電化學(xué)拋光處理

去離子水電阻率監(jiān)控功能

無刷電機(jī)驅(qū)動

氮氣溫度控制

轉(zhuǎn)軸氮氣密封

具有鎖蓋防護(hù)功能

故障診斷、顯示、報警功能

可提用戶特殊要求配置

采用高潔凈度的旋轉(zhuǎn)沖洗甩干功能,能夠適應(yīng)不同直徑和形狀的片式材料的清洗需求

設(shè)備設(shè)計可以適應(yīng)不同直徑的硅片,包括方形和其他特殊形狀的材料。

采用全自動控制,包括去離子水沖洗和加熱的氮氣干燥,實現(xiàn)晶片襯底后的濕化學(xué)方法的自動化處理

設(shè)備具備多項技術(shù)性能指標(biāo),如電源電壓、頻率、功率、絕緣電阻等,確保操作的安全性和穩(wěn)定性

包括使用氮氣和去離子水的相關(guān)安全性技術(shù)要求,如壓力、耗量、接口管徑和過濾精度等

部分設(shè)備采用PLC和觸摸屏控制,實現(xiàn)整個過程的智能化,具有故障實時顯示和報警功能

設(shè)備設(shè)計考慮了節(jié)能和效率,例如,整個甩干過程一般只需5-6分鐘

主要部件采用耐腐蝕不銹鋼,并進(jìn)行電化學(xué)拋光處理,以提高設(shè)備的耐用性和清潔度

旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)經(jīng)過精密動平衡處理,保證工作時的平衡性,并采用特種減振器以實現(xiàn)精密減振和阻尼

設(shè)備支持多種硅片規(guī)格、不同尺寸的掩模,滿足不同應(yīng)用需求。

 

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