硅片超聲波清洗機(jī) 概述：

該設(shè)備用于晶圓片擴(kuò)散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機(jī)共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序?yàn)榧兯逑?、膽堿清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗。其工藝性能指標(biāo)及可靠性*達(dá)到進(jìn)口同類設(shè)備水平，但價(jià)格、售后服務(wù)、備品備件的供給等是進(jìn)口設(shè)備*的。

 

硅片超聲波清洗機(jī) 主要特點(diǎn)：

·采用進(jìn)口PP板制作。

·適用2-6寸硅片清洗。

·超聲功率強(qiáng)勁，性能穩(wěn)定。

·超聲波采用效率高發(fā)生器，功率可調(diào)。

·采用高頻超聲波頻率。

·慢拉脫水、循環(huán)熱風(fēng)干燥方式，替換傳統(tǒng)的溶劑脫水，既安全又環(huán)保。

·設(shè)有循環(huán)過濾系統(tǒng)。

·多槽超聲波清洗工藝，保證清洗效果。

硅片超聲波清洗機(jī) 的超聲波強(qiáng)的洗凈作用，是以超過人類聽覺聲頻以上的波動(dòng)在液體中傳導(dǎo)。當(dāng)聲波在洗劑中傳播時(shí)，由于聲波是一種傳播，縱波推動(dòng)介質(zhì)的作用會(huì)使液體中壓力變化而產(chǎn)生無數(shù)微小真空泡，稱之為“空穴效應(yīng)”。

當(dāng)氣泡受氣壓爆破時(shí)，會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)大的沖擊能，可將固著在物件死角內(nèi)的污垢打散，并增強(qiáng)洗凈的洗凈效果，由于超聲波偏離高波長(zhǎng)短，穿透力強(qiáng)，因此對(duì)有隱蔽細(xì)縫或復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗物，可以達(dá)到良好的洗凈效果。